「酸化亜鉛」に関するサイレントキーワード「ヘリコン波励起プラズマ」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化亜鉛エピタキシーと微小共振器形成
【研究代表者】秩父 重英  東北大学   多元物質科学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080266907/	 
【研究分担者】
上殿 明良  筑波大学  大学院・数理物質科学研究科  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020213374/	
宗田 孝之  早稲田大学  理工学術院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090171371/	
杉山 睦  東京理科大学  理工学部  講師  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040385521/	
【研究連携者】     
上殿 明良  筑波大学  数理物質科学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020213374/	
宗田 孝之  早稲田大学  理工学術院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090171371/	
杉山 睦  東京理科大学  理工学部  講師  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040385521/