「エッチング」に関するサイレントキーワード「プラズマ処理」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】大気圧プラズマ中の高密度活性原子による除染
【研究代表者】鈴木 正昭  東京工業大学   工学部   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070114874/	 
【研究分担者】
関口 秀俊  東京工業大学  工学部(平成10年4月より)  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050226643/	
赤塚 洋  東京工業大学  原子炉工学研究所  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050231808/	
エスプチェンコ アレクサ  Res.Lab.for Nuclear Reactors, TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY : Research Associate  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040293063/