「超薄膜」に関するサイレントキーワード「プラズマ酸化」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】PA-ALD法による高誘電体薄膜の低温形成と欠陥・界面制御に関する基盤研究
【研究代表者】福田 幸夫  諏訪東京理科大学   システム工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050367546/	 
【研究分担者】
石崎 博基  諏訪東京理科大学  システム工学部  助教  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020383507/	
王谷 洋平  諏訪東京理科大学  システム工学部  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040434485/