「超臨界流体」に関するサイレントキーワード「製膜」が含まれる科研費採択研究4件

【研究名】超臨界流体を用いた強誘電体メモリ用複合酸化物薄膜の形成
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   大学院工学系研究科(工学部)   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/	
【研究名】3次元実装における極微細縦方向配線のシングルステップ形成
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/	
【研究名】革新的有機半導体埋め込み技術開発による有機薄膜太陽電池の高効率化
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   助教 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/	
【研究名】ULSI／MEMS対応マルチスケール薄膜堆積技術の構築
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   助教 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/