「カラス」に関するサイレントキーワード「シリコンウエハ」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】静電気力を用いた超クリーン非接触搬送システム
【研究代表者】樋口 俊郎  東京大学   大学院・工学系研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010111569/	 
【研究分担者】
脇迫 仁  株式会社安川電機  基礎研究所  課長(研究職/	
山本 晃生  東京大学  大学院・工学系研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040313035/	
岡 宏一  高知工科大学  知能機械システム工学科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010160649/	

【研究名】硬脆材料の超微細加工に及ぼす雰囲気の影響
【研究代表者】吉野 雅彦  東京工業大学   工学部   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040201032/