「分子動力学法」に関するサイレントキーワード「Chemical Vapor Deposition」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】シリコンのプラズマCVD薄膜生成におけるエピタキシャル成長の分子動力学法解析
【研究代表者】澁田 靖  東京大学   大学院・工学系研究科   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090401124/	
【研究連携者】     
神原 淳  東京大学  大学院・工学系研究科  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080359661/