「リソグラフィー」に関するサイレントキーワード「マイクロロボティクス」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】微細毛構造由来の表面柔軟性を持つ静電吸着デバイスによる製造技術の革新
【研究代表者】齋藤 滋規  東京工業大学   環境・社会理工学院   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030313349/	 
【研究分担者】
高橋 邦夫  東京工業大学  環境・社会理工学院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070226827/	
鞠谷 雄士  東京工業大学  物質理工学院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070153046/	
山本 貴富喜  東京工業大学  工学院  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020322688/	

【研究名】静電誘導ファイバー高度集積化によるヤモリ型静電チャック創製と物体操作技術への展開
【研究代表者】齋藤 滋規  東京工業大学   環境・社会理工学院   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030313349/	 
【研究分担者】
鞠谷 雄士  東京工業大学  理工学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070153046/	
高橋 邦夫  東京工業大学  理工学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070226827/