「超音波」に関するサイレントキーワード「ダイヤモンド砥石」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作
【研究代表者】厨川 常元  東北大学   大学院・工学研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090170092/	 
【研究分担者】
田中 克敏  東芝機械(株)  精密機器事業部  主席技監(研究職/	
閻 紀旺  東北大学  大学院・工学研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/	
呉 勇波  東北大学  大学院・工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010302176/