「単結晶」に関するサイレントキーワード「表面品質」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】高周波ナノ秒パルスレーザ照射による大口径シリコンウエハ加工変質層の完全修復
【研究代表者】閻 紀旺  東北大学   大学院・工学研究科   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/