「3D」に関するサイレントキーワード「LSIパターン」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】高分解能ワイドレンジ三次元微細形状測定装置の開発
【研究代表者】塚田 忠夫  東京工業大学   工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000016437/	 
【研究分担者】
笹島 和幸  埼玉大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080170702/