「半導体」に関するサイレントキーワード「微細パターン材」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】真性応力に起因する微細パターン材の弾性不安定挙動の解明と形態制御
【研究代表者】田中 展  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   助教 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070550143/	 
【研究分担者】
泉 聡志  東京大学  大学院工学系研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030322069/