「超音波」に関するサイレントキーワード「プラズマCVD」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】偏光反射分光法による プラズマCVD表面反応の解析と制御
【研究代表者】川崎 雅司  東京工業大学   工業材料研究所   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090211862/	
【研究名】超音波励起によるプラズマCVD表面反応の制御
【研究代表者】川崎 雅司  東京工業大学   工業材料研究所   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090211862/