「超音波」に関するサイレントキーワード「アレイ」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】多自由度マイクロ超音波モータとそのアレイ化 【研究代表者】中村 健太郎 東京工業大学 精密工学研究所 准教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020242315/ 【研究分担者】 上羽 貞行 東京工業大学 精密工学研究所 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090016551/