「半導体」に関するサイレントキーワード「界面評価」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜 【研究代表者】平木 昭夫 大阪大学 工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050029013/ 【研究分担者】 広瀬 洋一 日本工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090049726/ 川原田 洋 大阪大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090161380/ 田口 常正 大阪大学 工学部 講師 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090101279/