「薄膜」に関するサイレントキーワード「金属内包シリコン」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】ケージ状ナノクラスター複合薄膜の創製とその熱電変換特性の解明 【研究代表者】中嶋 敦 慶應義塾大学 理工学部(矢上) 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030217715/