「クラスター」に関するサイレントキーワード「衝撃波」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】圧力波フォーカシングを利用した高純度シリコンクラスタービーム生成技術の高度化
【研究代表者】長谷川 純  東京工業大学   科学技術創成研究院   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090302984/	 
【研究分担者】
岩田 康嗣  国立研究開発法人産業技術総合研究所  エレクトロニクス・製造領域  招聘研究員  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080356534/	
堀岡 一彦  東京工業大学  工学院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010126328/